검사 장비

자이스 CMM 스펙트럼

ZYGO 레이저 간섭계

6인치 레이저 간섭계

애질런트 캐리 7000 UMS

백색광 간섭계

히타치 U-4100 분광광도계

중심편차 측정기

팬토미터

표면 프로파일 측정기