검류계 거울(Galvo)은 고정밀 빔 스캐닝 거울입니다. 거울의 각도를 신속하고 정확하게 제어함으로써 레이저의 진행 방향을 동적으로 변경할 수 있어 신속한 스캐닝이나 위치 결정이 가능합니다.
| 기판 재료 | 실리콘(Si), 용융 실리카(JGS1), H-K9L 등 |
|---|---|
| 코팅 유형 | 알루미늄 코팅(450nm-20μm) 실버 코팅(450nm-20μm) 골드 코팅(800nm-20μm) UV 강화 알루미늄 코팅(250-450nm) |
| 반사율 | > 99.0% |
| 스캐닝 각도 | ±5° ~ ±50° |