갈바노미터 미러(갈보)는 고정밀 빔 스캐닝 미러입니다. 미러의 각도를 빠르고 정밀하게 제어함으로써 레이저의 진행 방향을 동적으로 변경할 수 있어 신속한 스캐닝 또는 위치 조정이 가능합니다.
| 기판 재료 | 실리콘(Si), 석영(JGS1), H-K9L 등 |
|---|---|
| 코팅 종류 | 알루미늄 코팅(450nm-20μm) 은 코팅(450nm-20μm) 금 코팅(800nm-20μm) 자외선 강화 알루미늄 코팅(250-450nm) |
| 반사율 | > 99.0% |
| 스캔 각도 | ±5° ~ ±50° |